同样是EDI后端抛光,MR-3LC、MR-450UPW、UP6040到底该怎么区分使用?

同样布置在EDI后端做终端抛光,DuPont杜邦AmberTec MR-3LC、MR-450UPW、UP6040三款不可再生混床树脂经常让水处理工程师纠结。三者虽同为H/OH预混抛光树脂,都可产出18MΩ・cm级别超纯水,但在颗粒规格、杂质控制、目标污染物、适用行业、使用寿命上差异明显,选错容易出现TOC偏高、硅硼泄漏、树脂寿命短等现场问题。

DuPont杜邦MR-3LC定位中端高纯抛光,主打光伏、普通电子行业。这款树脂阴阳树脂1:1当量配比,整球率不低于95%,压碎强度优秀,金属杂质控制属于高纯等级,可满足常规光伏硅片清洗、普通电子超纯水需求,适配EDI后端去除残余盐分,稳定产出18MΩ・cm产水。短板在于硅、硼深度去除能力一般,金属残留指标相比另外两款宽松,不适合先进半导体制程。优势是性价比高,适合预算有限、痕量杂质要求不是sub-ppb级别的项目。

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杜邦MR-450UPW是半导体超高纯专用款,核心优势是针对硼、硅做配比优化。阳离子平均粒径360μm,阴离子590μm,均一系数不高于1.1,颗粒更细,交换动力学更快,能够将硅、硼、钠、铁、铝等杂质降到sub-ppb级别,多用于半导体芯片、OLED面板等高精密制程的点位使用抛光回路。它对弱电解质去除能力是三款中strongest,适合对硼硅指标严苛的产线;细颗粒带来的代价是同等流速下床层压降会偏高,设计时需要留意罐内流速与床层高度。

杜邦UP6040属于半导体通用型抛光树脂,阴阳树脂颗粒更大,阳离子525μm,阴离子630μm,均粒配方专门抑制运行过程树脂分层,高流速工况下压降表现优秀,冲洗用水量少,冲洗完成电阻率可大于17.9MΩ・cm,TOC控制不高于3ppbC。它兼顾容量与水力性能,适合半导体工厂大流量EDI后端抛光回路,不推荐用于再生混床。对比MR-450UPW,UP6040硼硅去除能力略弱,但压降更友好,更适合大流量系统。

实际选型可以简单参照:光伏、普通电子,优先MR-3LC;大流量半导体产线,追求低压降,选UP6040;先进制程,硅硼指标要求sub-ppb,选MR-450UPW。同时注意三款全部为不可再生树脂,EDI进水水质会直接影响树脂寿命,进水变差会加速树脂失效,项目前期必须把控好EDI出水基础水质。如果您想了解更多杜邦抛光树脂和EDI模块相关的资讯,欢迎随时在本网站留言或来电咨询相关资讯!感谢您认真阅读!

 

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